Углавном се користи у физичком таложењу паре и другим процесима, током процеса распршивања, атоми на површини мете тантала се бомбардују и депонују у облику танког филма на подлогу да би се добио жељени танкослојни материјал.
Тачка топљења тантала је чак 2996 степени, што омогућава циљевима од тантала да одрже добру структурну стабилност у окружењима са високим{1}}температурним распршивањем и не могу се лако деформисати или испарити. Густина је обично изнад 16,6 г/цм ³, што може смањити проблеме пуцања или деформације током прскања, док смањује прскање честица и побољшава квалитет филма. На температури распршивања, није лако испарљив, што обезбеђује минималан губитак циљног материјала током процеса распршивања и обезбеђује стабилне атоме тантала за таложење танког филма.
Хемијска својства тантала су веома стабилна, и једва реагује са другим киселинама осим флуороводоничне киселине и вруће концентроване сумпорне киселине. Такође се може користити дуго времена у тешким хемијским окружењима, а танталски филм направљен од њега такође има добру отпорност на корозију. Површина тантала је склона формирању густог и стабилног пасивационог филма тантал оксида, који може ефикасно спречити даљу оксидациону корозију и побољшати век трајања материјала.
Поље апликације
У производњи интегрисаних кола, тантални циљни материјали се користе за припрему слојева дифузионих баријера, спречавају дифузију бакарних интерконекција у силицијумске подлоге, побољшавају поузданост и перформансе уређаја, а могу се користити и као материјали за капије или део металних капија за МОСФЕТ-ове, као и електроде кондензатора у меморијским уређајима велике{0}}густине као што је ДРАМ.
У производњи дисплеја са течним кристалима (ЛЦД) и органских{0}}диода које емитују светлост (ОЛЕД), мете од тантала се користе за припрему електрода и слојева ожичења танкослојних транзистора (ТФТ). Њихова стабилност и проводљивост помажу у побољшању квалитета приказа. Поред тога, могу се користити и као слојеви за инкапсулацију танког филма у ОЛЕД-има како би се продужио животни век уређаја.
Користе се за припрему оптичких филмова као што су антирефлективни премази или филтери, танталски филмови високе{0}}чистоће имају уједначен индекс преламања и добру издржљивост, погодни за прецизне оптичке инструменте као што су сочива камере и ласерски уређаји. У хемијским, нафтним, поморским и другим окружењима, антикорозивни премази припремљени од тантала циљних материјала могу ефикасно заштитити опрему, цевоводе и контејнере од корозије.
Sep 19, 2025
Остави поруку
Области примене циљних материјала тантала
Pošalji upit





