1. Исеците ингот ванадијума захтеване чистоће у складу са циљном величином користећи хоризонталну машину за тестерисање, загрејте на 450-500 степени, затим исковајте и контролишете укупну стопу деформације ковања на 70-80%;
2. Жарење кованог ингота ванадијума на температури од 400-500 степени и времену држања од 60-120мин, а затим га охладити ваздушним хлађењем;
3. Омотајте жарени ингот ванадијума и контролишете количину притискања сваког пролаза на 0.5-1мм и контролишите укупну деформацију на 70-80%, све док не буде празна мета ванадијума на добија се потребан пречник и дебљина;
4. Поново жарите ваљану празну мету од ванадијума на температури од 450-550 степени и времену држања од 90-150 мин. Након поновног жарења, охладите га водом да бисте добили потребну празну мету ванадијума високе чистоће.
Овако припремљени бланк мете од ванадијума не само да има уједначену унутрашњу структуру, већ има и предност финих зрна.
Циљни материјал мора бити високе чистоће, са мање нечистоћа, уједначеног хемијског састава, без сегрегације, без пора, уједначене структуре зрна и величине зрна од микрометра до милиметарског нивоа. Потребно је да разлика у величини зрна у једној мети за распршивање буде што мања. На овај начин није лако произвести феномен пражњења у магнетронском распршивању, а филм магнетронског распршивања је уједначен.
Примена мете ванадијума
Користи се у областима соларне енергије, равних дисплеја, електронике и полупроводника, као што су интегрисана кола, метализација задње плоче, оптоелектроника и друге апликације.
