Које врсте циљних материјала постоје – први део

Који су циљни материјали?

Циљ је заправо широк појам. Постоје три начина за класификацију циљних материјала:

1. Према спољним димензијама, може се поделити на цилиндричне, правоугаоне, квадратне мете са плочама и цевне мете. Према материјалу, циљни материјали се могу поделити на металне мете, полимерне керамичке неметалне мете и мете од легуре итд.;

2. Према материјалу, циљни материјали се могу поделити на конвенционалне металне мете, мете од племенитих метала, мете од ретких земних метала, неметалне мете, мете за распршивање легуре, керамичке мете за распршивање итд.;

3. Према области примене, може се поделити на мете за полупроводнике, мете за дисплеј панеле, мете за соларне ћелије, мете за магнетно снимање итд.

Класификација према облику мете

Уобичајене мете су углавном квадратне и округле мете, које су чврсте мете. У операцији премаза, магнетно поље које ствара кружни перманентни магнет на површини мете је прстенасто, доћи ће до неуједначене ерозије, уједначеност дебљине распршеног филма није добра, а ефикасност коришћења мете је само око 20 % до 30%. Циљ шупље цеви који се тренутно промовише може да се ротира око склопа магнета са фиксном шипком током одређеног временског периода, а површина мете од 360 степени може бити равномерно урезана, што има очигледне предности и повећава стопу коришћења на 80%.

Класификација према циљном материјалу

Конвенционалне металне мете: