У циљу утицаја јона аргона (Ар) на површину мете током вакуумског премаза, првенствено се користи ужарено пражњење.
Атоми циљног материјала се избацују и нагомилавају на површини супстрата да би формирали танак слој. Карактеристике и хомогеност распршеног филма су супериорније од карактеристика испареног филма, али је његова брзина наношења премаза знатно спорија. Већина модерних уређаја за распршивање користи јаке магнети да убрзају јонизацију аргона око мете спиралним електронима.
повећава вероватноћу судара између мете и јона аргона,
Повећајте брзину распршивања. Генерално, ДЦ распршивање се користи углавном за металне премазе, док се РФ АЦ распршивање користи за непроводне керамичке материјале. Основна идеја је коришћење сјајног пражњења у вакууму.
пражњење) Катјони у плазми убрзавају до површине негативне електроде као распршени материјал док јони аргона (Ар) ударају у површину мете. Циљни материјал ће излетети и таложити се на подлогу Филм као резултат овог удара. Уопштено говорећи, примена технике прскања за облагање филмом обухвата следеће карактеристике:
(1) Филмски материјал може бити направљен од метала, легуре или изолатора.
(2) Вишеструке и сложене мете се могу користити за стварање танког филма са истим саставом када су присутни прави услови.
(3) Циљни материјал и молекули гаса могу се мешати или мешати додавањем кисеоника или других активних гасова у атмосферу за пражњење.
(4) Високо прецизна дебљина филма може се лако добити контролом циљне улазне струје и времена прскања.
(5) Погоднији је за стварање хомогених филмова велике површине у поређењу са другим методама.
(6) Положаји мете и супстрата могу бити произвољно конфигурисани, а на честице прскања у суштини гравитација не утиче.
(7) Пошто распршене честице носе високу енергију, оне ће наставити да се распршују на површини која формира филм да би произвела јак и густ филм. Снага пријањања између подлоге и филма је више од 10 пута већа од обичног филма за таложење паром. У исто време, супстрат захтева мало енергије јер се до високих На нижим температурама може произвести кристализовани филм.
(8) Висока густина нуклеације током раних фаза формирања филма може резултирати ултра танким непрекидним филмовима дебљине мање од 10 нм. (9) Циљни материјал може се производити аутоматски и континуирано дуго времена и има дуг живот.
(10) Циљни материјал може попримити различите облике захваљујући јединственом дизајну машине, који омогућава већу контролу и највише
